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　　簡單的說：功率大，極限真空高（壓力極小）（壓力越小，代表極限真空度越高），有的甚至可以做到10負幾次方Pa,非常接近理論真空了。抽氣速率大，通常以"L/S（升/秒）"作為單位。工業上有非常廣泛的應用。
　　
　　缺點：價格高昂、體積大、重量大、噪音高、能耗高、需要定期維護，不易移動等。有的大型真空泵必須使用真空泵油或潤滑油，工作中會產生油霧，對工作介質有污染……以上缺點在某些場合特別明顯，如大型真空泵雖然真空度高，但在低真空場合反而浪費，像實驗室，只是需要泵對少量氣體進行氣體采樣、氣體分析、氣體循環、真空吸附、氣體轉移、增壓、間接吸水、排水等時，用大型真空泵反而暴露出它的很多缺點。
　　
　　這個時候用小型真空泵，粗真空（真空度較低）就可以滿足，而且體積小巧、噪音低、功耗小、易于操作、便于攜帶、免維護、可24小時連續運轉，還允許介質富含水汽。zui重要的是，因為是干式、無油的，不需要真空泵油或潤滑油，所以不會污染工作介質，不會干擾對介質的分析等等。而且價格相對便宜得多。
　　
　　現在，隨著小型真空泵在各個領域的廣泛應用以及真空技術的提高，小型真空泵的性能也不斷提升，比如有一款高負壓小型真空泵成都為誠電子機械的極限真空度甚至可以達到，即負壓約-0.09Mpa;抽氣速率zui大可達：28L/Min;還有能同時抽氣、打氣兩用的小型真空泵，負壓（-50KPa），zui大輸出正壓（相對大氣壓）100KPa（約1公斤）。